精密機械加工是在嚴格控制的環(huán)境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現(xiàn)的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。位置所依據的基準稱為設計基準。在工序圖上用來確定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依據的基準稱為工序基準。形狀精度用來限制加工表面宏觀幾何形狀誤差，位置精度用來限制加工表面與其基準間的平行度、垂直度、同軸度等相互位置誤差。

在工件和刀具的材料、精加工余量及刀具角度一定的情況下，表面粗糙度取決于切削速度和進給速度。值得提醒的是，精密零部件的模具表面拋光處理工作，不僅僅只收到工藝工序和拋光設備的影響，同時還會受到零件材料鏡面度的影響，導軌是機床上確定各機床部件相對位置關系的基準，也是機床運動的基準。導軌的不均勻磨損和安裝質量，也是造成導軌誤差的重要因素。

隨著微/納米科學與技術（Micro/Nano Science and Technology）的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度為特征的微機械已成為人們認識和改造微觀世界的一種高新科技。大型機械加工所使用的材料，可以說這也是一重要方面，所以是需要引起重視并認真對待，而且是要選擇性能和質量好的材料，這樣可以讓通過加工得到的工件有好的使用性能和使用效果，而不會在使用過程中出現(xiàn)一些問題。加工需要的機械由數顯銑床、數顯成型磨床、數顯車床、電火花機、磨床、加工中心、激光焊接、中走絲、快走絲、慢走絲、外圓磨床、內圓磨床、車床等，可進行零件的車、銑、刨、磨等加工， 此類機械擅長零件的車、銑、刨、磨等加工，可以加工各種不規(guī)則形狀零件，加工精度可達2μm。